JQX-107JB 多功能精密测量显微镜是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业需求而开发的。作为高级精密测量金象显微镜使用,可用来鉴别、分析、测量各种金属、合金的组织结构以及半导体、LCD、TFT、PDP、太阳能电池板的检测。
技术规格
光学系统
无限远光学系统
观察头
正像,30°铰链式,
可调瞳距50mm-75mm,0.3xCCD适配镜
目镜
宽视场平场目镜WF10X/22mm
WF10×/20mm,带0.1mm十字分划板
物镜
平场无限远长工作距离物镜
5X/0.12(W.D.=23.6mm)
10×/0.25(W.D.=17.8mm)
20X/0.40(W.D.=10.4mm)
50×/0.55(W.D.=7.0mm)
转换器
带DIC插孔的六孔转换器
平台
平台尺寸:250×250mm
(玻璃台面尺寸:φ148mm)
测量范围:50mm×50mm
测量准确度:≤(3+L/25)um(L为被测长度)
调焦
粗微动同轴调焦,微动格值0.002mm
Z轴升降范围:150mm
光源
反射照明
Kohler照明
LED灯5V/3W,AC85V-230V,亮度连续可调
透射照明
采用远心照明系统
检测工具
0.01mm测微尺
可供附件
目镜:WF15/17mm、WF20/12.5mm
物镜:平场无限远长工作距离物镜
100X/0.80(W.D.=3.2mm)
二维测量软件
微分干涉(DIC)装置、
专业金相图像分析软件
测微目镜
各款工业相机
2X摄影目镜,各款单反机接口